芯片|已量产7nm制程设备零部件 国产半导体厂商富创精密科创板IPO成功过会

2022年5月5日 , 上交所科创板上市委发布2022年第35次审议会议结果显示 , 沈阳富创精密设备股份有限公司(以下简称“富创精密”或公司)顺利通过上交所审核 , 其科创板上市进程迈出关键性的一步 。
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已量产7nm制程设备所需的精密零部件
公开资料显示 , 富创精密成立于2008年 , 是一家国产半导体设备精密零部件企业 , 主要产品应用于半导体设备覆盖集成电路制造中刻蚀、薄膜沉积、光刻及涂胶显影、化学机械抛光、离子注入等核心环节 , 部分产品已应用于制造先进7nm制程的前道设备 , 成为了全球为数不多的可以量产应用于7nm工艺制程半导体设备的精密零部件制造商 。除半导体设备外 , 公司产品也应用于制造显示面板、光伏产品的泛半导体设备及其他领域 。
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据介绍 , 富创精密产品主要包括工艺零部件、结构零部件、模组产品和气体管路等 , 并且在高精密、高洁净、高耐腐蚀、耐击穿电压等性能方面均达到了国际主流客户标准 。
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富创精密目前已有部分腔体、内衬、匀气盘等高端产品应用于7nm工艺制程设备 , 未来将继续扩大相关品类 , 并加快研制应用于5nm及更先进工艺制成的半导体设备精密零部件 。
值得一提的是 , 内衬产品已通过主流国际客户认证的除了富创精密 , 还包括少量美国厂商 、 韩国Iones、日本Tocalo等 , 其中韩国 Iones和日本 Tocalo 都是采购了富创精密内衬后进行涂层加工后再销售给主流国际客户 。
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报告期内 , 富创精密的产品已进入了东京电子、HITACHI High-Tech和ASMI等全球半导体设备龙头厂商供应链体系 。同时 , 基于半导体设备国产化趋势 , 富创精密也积极开拓境内市场 , 产品已进入包括北方华创、屹唐股份、中微公司、拓荆科技、华海清科、芯源微、中科信装备、凯世通等主流国产半导体设备厂商 , 为我国半导体产业供应链安全提供了助力 。
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值得一提的是 , 富创精密实际控制人兼董事长、总经理郑广文先生同时也是半导体设备厂商芯源微的创始投资人 。
半导体精密零部件的国产化机遇
根据富创精密的招股书显示 , 半导体行业遵循“一代技术、一代工艺、一代设备”的产业规律 , 半导体设备是延续行业“摩尔定律”的瓶颈和关键 。鉴于半导体设备厂商往往为轻资产模式运营 , 其绝大部分关键核心技术需要物化在精密零部件上 , 或以精密零部件作为载体来实现 。
半导体设备精密零部件具有高精密、高洁净、超强耐腐蚀能力、耐击穿电压等特性 , 生产工艺涉及精密机械制造、工程材料、表面处理特种工艺、电子电机整合及工程设计等多个领域和学科 , 是半导体设备核心技术的直接保障 。
因此 , 半导体设备的升级迭代很大程度上有赖于精密零部件的技术突破 , 从而半导体精密零部件不仅是半导体设备制造环节中难度较大、技术含量较高的环节之一 , 也是国内半导体设备企业“卡脖子”的环节之一 , 其支撑着半导体设备行业 , 继而支撑半导体芯片制造和整个现代电子信息产业 。
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近年来 , 得益于中国政府的大力支持 , 中国半导体产业的发展迅速 , 特别是在近两年全球“缺芯”的大背景之下 , 国内的半导体制造业发展迅猛 , 对于半导体设备的需求也是持续高速增长 。


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